UV400 GaN基外延片测温仪用于GaN基外延的晶圆表面温度和反射率真实测量,温度范围650…1300℃
更新时间:2024-07-03
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Advanced Energy®的 OR4000E多通道光纤测温仪(OFT)能够自动探测测量材料发射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能,并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用块化设计,可快速量身定制,满足不同的的工艺应用要求。
更新时间:2024-07-03
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Sekidenko OR4000T 高温计 Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程,应用于半导体硅片,外延,晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力,支持高达2kHz的读取速率,符合半导体应用中极为严格的要求。 其采用模块化设计,可快速量身定制。
更新时间:2024-07-03
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Advanced Energy®的 OR400M光学高温计将Sekidenko九游会·登录大厅系列的应用范围扩展至3.3um-5.2um的中红外波长范围。OR400M可进行单通温度测量,用于半导体设备的高精密温度测量,用于硅片,腔室的精确测温。OR400M支持RS-232和模拟数据接口。OR400M设计紧凑,易于集成,可满足许多工艺应用的要求。
更新时间:2024-07-03
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